TF lab 系列臺式單點測試設備

TF lab 系列臺式單點測試設備

TF lab 系列，允許導電性薄膜和在非接觸模式薄的金屬層的層厚度測量的手動單點測量。緊湊的臺式設備非常適合快速準確地測量最大的樣品。除了測量薄導電層之外，還可以分析摻雜的晶片和導電聚合物。

優勢

非接觸式實時測量

精確測量導電薄膜

隱藏和封裝導電層的表征

測量數據保存和導出功能

測量

薄層電阻

金屬層厚度測量

單點測量

質量控制，輸入和輸出控制

測量范圍：0.1 mOhm/sq 到 100 kOhm/sq

應用

涂層建筑玻璃，例如 LowE

顯示器、觸摸屏和平板顯示器

OLED 和 LED 應用

智能玻璃

石墨烯層

光伏晶片和電池

半導體晶片

金屬化層和晶圓金屬化

除冰和加熱應用

電池電極

導電涂層紙和導電紡織品

類型

薄層電阻測試儀 （Ohm/sq、OPS、Ohm per square）

金屬層厚度測試儀 (nm, µm, mil)

各向異性和薄層電阻測試儀 (MD/TD)

濕涂層厚度和殘留水分 – HF

電阻率和電導率測試儀 – (mOhm cm, MS/m)

測量界面

TF lab 2020 系列 非接觸式單點薄層測試儀

2021年12月10日,星期五

15:02

TF lab 2020 系列，允許導電性薄膜和在非接觸模式薄的金屬層的層厚度測量的手動單點測量。緊湊的臺式設備非常適合快速準確地測量最大的樣品。除了測量薄導電層之外，還可以分析摻雜的晶片和導電聚合物。

優勢

非接觸式實時測量

精確測量導電薄膜

隱藏和封裝導電層的表征

測量數據保存和導出功能

測量

薄層電阻

金屬層厚度測量

單點測量

質量控制，輸入和輸出控制

樣品尺寸：10 x 10 mm² 到 200 x 200 mm²（0.5 x 0.5 英寸到 8 x 8 英寸）

測量范圍：0.1 mOhm/sq 到 100 kOhm/sq

應用

涂層建筑玻璃，例如 LowE

顯示器、觸摸屏和平板顯示器

OLED 和 LED 應用

智能玻璃

石墨烯層

光伏晶片和電池

半導體晶片

金屬化層和晶圓金屬化

除冰和加熱應用

電池電極

導電涂層紙和導電紡織品

軟件和設備控制

非常人性化的軟件

直觀的觸摸顯示導航

實時測量薄層電阻和層厚

軟件輔助手動映射選項

各種數據保存和導出選項

電阻測試儀參數

基材	箔、玻璃、晶片等
基板面積	8 英寸/204 毫米 x 204 毫米
最大限度。樣品厚度/傳感器間隙	3 / 5 / 10 / 25 毫米（由最厚的樣品定義）
金屬薄膜（例如銅）的厚度測量范圍	2 nm – 2 mm（根據薄層電阻）
設備尺寸 (w/h/d)	11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 毫米 x 140 毫米 x 445 毫米
重量	10公斤
更多可用功能	薄層電阻測量/金屬厚度檢測
	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
范圍 [歐姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%	± 3 – 5%
重復性 (2σ)			< 0.3%	< 0.5%	< 0.3%

* VLSR - 極低薄層電阻，LSR - 低薄層電阻，MSR - 中等薄層電阻，HSR - 高薄層電阻，VHSR - 極高薄層電阻

升級測試

薄層電阻測試儀 （Ohm/sq、OPS、Ohm per square）

金屬層厚度測試儀 (nm, µm, mil)

各向異性和薄層電阻測試儀 (MD/TD)

濕涂層厚度和殘留水分 – HF

電阻率和電導率測試儀 – (mOhm cm, MS/m)

測量界面